リニアアクチュエータ シチズンマイクロ／シチズン千葉精密／シチズン電子

用途：
半導体製造装置
光学機器・露光装置
検査・測定装置
実験・研究用機器
クリーンルーム対応装置

想定ユーザー：
・半導体、光学装置メーカーの設計/開発エンジニア
・高精度位置決めが必要な研究/実験装置の開発者
・小型、軽量な直動アクチュエータを装置に組み込みたいFA/装置メーカー
・クリーンルーム環境で使用する装置の設計者

・微小ストロークで高精度な位置決めが求められる用途
・繰り返し精度、再現性が重要な検査/測定工程
・光学系、半導体プロセスにおける精密調整軸
・クリーン環境下で使用される発塵対策が必要な装置

1. 小型・軽量で高精度なACサーボリニアアクチュエータ
中空構造のACサーボモータと、小型・高分解能の光学式ロータリーエンコーダを採用。
ギアを使用しないダイレクト構造により、高分解能・高精度な位置決めを実現しています。

2. 用途に応じたシリーズ展開
高精度を維持しつつコストパフォーマンスに優れたローコストモデルや、長寿命タイプ、発塵対策を施したクリーンルーム対応モデルなどの標準品に加えカスタム対応も可能です。

3. コンパクト設計で装置の省スペース化に貢献
直線駆動機構を一体化することで、装置内レイアウトをシンプルにし、省スペース設計を実現。
高機能・小型化を両立します。

4. クリーン環境・精密用途への高い適応性
クリーンルーム対応モデルを含むラインアップにより、光学・半導体分野を中心とした
高い清浄度・安定性が求められる装置にも対応可能です。