松定プレシジョン

半導体・電子部品製造装置メーカー、研究機関・大学・材料開発部門、自動車・電機・重電メーカーの開発・品質保証部門

● パワーデバイスのリーク電流測定、スイッチング特性試験 ● インバータの評価試験 ● コンデンサ充電 ● 絶縁耐圧試験 ● 電子ビーム ● イオンビーム ● X線装置 ● エレクトロスピニング

■超薄型・省スペース
　19インチ規格のラックマウントサイズでパネル高わずか44mmの超薄型設計を実現。
■低リップル（0.05%p-p）
　電子ビーム・イオンビーム、検出器等、低リップルが必要な用途にもご使用いただけます。
■デジタルインターフェース標準装備
　LAN、USBの通信インターフェースを標準装備
■万全の保護機能
　インターロック、アーク放電保護、可変OVP、可変OCP等、安全・安心にご使用頂く為の保護機能を標準装備
■幅広いラインナップ(全72モデル)
　出力電圧が1kV～120kVまで幅広いレンジモデルをラインナップ
■豊富なリモート機能
　出力電圧と出力電流が制御できる他、出力ON/OFFや出力電圧・電流値のモニタ出力、ステータス出力を備えています。

半導体・電子部品製造装置メーカー、研究機関・大学・材料開発部門

● 電子部品、電子回路、電子機器のテストや測定 ● 車載機器、各種電子部品などの自動試験装置(ATE) ● レーザーダイオードやLEDなどの定電流電源 ● 半導体デバイスや電子部品などのバーンイン試験 ● 真空蒸着装置のヒーター用電源
PKTSシリーズは、この他にも様々な用途でご利用いただけます。

■ 800Wワイドレンジ出力で、3台分の出力範囲を1台で対応
■ カラー液晶タッチパネル搭載で、操作性・視認性が大幅アップ
■ 定電力制御（CPモード）を標準搭載し、一定電力を自在に制御が可能
■ 電流吸込抑制機能により、負荷の電圧降下を防ぎます
■ CV/CC優先設定機能により、オーバーシュートの発生を抑えることができます
■ 低ノイズスイッチング方式で研究開発に最適
■ 内部抵抗可変機能により二次電池や太陽電池、燃料電池などを簡易的に模擬することが可能
■ 力率改善回路とワールドワイド入力で使用場所を選びません
■ LAN・USB標準装備なのでリモートで動かすような自動検査システムに最適です

半導体・電子部品製造装置メーカー、研究機関・大学・材料開発部門

● ECUや基板の評価試験 ● LEDの輝度測定・IV測定 ● 各種試験や研究開発など

■ 横幅わずか35mmの超薄型サイズで80W出力が可能
■ 最大320Vまで出力が可能
■ 自然空冷方式により高い静粛性を実現
■ 視認性に優れた4桁メータを採用
■ 高分解能D/A・A/Dコンバータを搭載
■ LAN・USBポート標準装備
■ 出力電圧・電流値のスピーディな設定が可能

半導体製造装置メーカー、研究開発機関・大学・試験装置メーカー

●半導体製造装置　●リソグラフィー　● イオンエッジング　● プラズマCVD　● ウエハボンディング　● ALD（原子層堆積法）　● CD-SEM　 ● マスクアライメント

● ウエハの静電容量をモニタリングするウエハセンシング機能により、確実なチャック/デチャックが可能
● 四象限アンプ構造を採用。高速応答かつ極性切替にメカニカルリレーを使用しない長寿命を実現
● チャック/デチャック波形生成機能により出力ON/OFF時の波形を設定。スムーズなチャック/デチャックが可能
● EtherCAT標準搭載
● RFフィルター（ローパスフィルタ）内蔵（13.56MHz）
● 2ch独立制御により、様々な出力電圧の組み合わせが可能