静電チャック専用高圧電源 [HCXシリーズ] 松定プレシジョン

半導体製造装置メーカー、研究開発機関・大学・試験装置メーカー

●半導体製造装置　●リソグラフィー　● イオンエッジング　● プラズマCVD　● ウエハボンディング　● ALD（原子層堆積法）　● CD-SEM　 ● マスクアライメント

● ウエハの静電容量をモニタリングするウエハセンシング機能により、確実なチャック/デチャックが可能
● 四象限アンプ構造を採用。高速応答かつ極性切替にメカニカルリレーを使用しない長寿命を実現
● チャック/デチャック波形生成機能により出力ON/OFF時の波形を設定。スムーズなチャック/デチャックが可能
● EtherCAT標準搭載
● RFフィルター（ローパスフィルタ）内蔵（13.56MHz）
● 2ch独立制御により、様々な出力電圧の組み合わせが可能