薄型DDモーター　DMTシリーズ ハイウィン

当社のリニアモーターと組合わせることで比較的容易に高精度位置決めXYθステージを組むことができます。また、ウエハパッケージング装置に応用した場合、一般的なベルトプーリー式と比べ厚み・幅、また部品点数も大幅に削減が可能です。

業界最薄クラスの厚さ22mm（DMTB2/F2）で4-12インチウエハに対応する大中空径を備えています。高分解能で優れた位置決め精度を誇り、独自の磁気回路設計により高トルクを実現しています。