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ターゲット
用途:
レーザ加工装置
医療・分析・検査装置
半導体・電子部品製造装置
光学実験・研究用途
LiDAR
想定ユーザー:
・高速、高精度なレーザ走査を必要とする装置メーカー
・光学系、レーザシステムの設計/開発エンジニア
・安定した位置制御、温度特性を重視する研究機関/先端技術分野 -
利用シーン
・レーザビームを高速、高精度で走査するレーザ加工/マーキング
・微細な光学制御が求められる計測/検査装置
・高応答性が必要なリアルタイム光学制御 -
製品の特徴
1. 低イナーシャ・高トルク設計
低イナーシャ構造により、ミラーを高速かつ正確に駆動。
応答性に優れ、高速走査と高追従性を両立します。
2. 高精度リニアリティと高い位置決め精度
高精度な光学式アナログセンサを搭載し、指令信号に対して再現性の高い動作を実現。
微細加工・精密制御用途に適しています。
3. 優れた温度特性・環境安定性
温度ドリフトが小さく、長時間にわたる安定動作が可能。
環境変動のある装置内でも高い信頼性を発揮します。
4. 広範囲かつ高速なレーザ走査を実現
ガルバノミラーを高速・高精度に広範囲へ走査可能。
多様なレーザ・光学システムに柔軟に対応します。
| サイズ・容量 | スキャナ外径 φ9.5/φ14/φ22/φ25/φ31mm 振り角(機械角) ±10°/±15°/±20°/±30°/±40° ミラーサイズ(対応レーザ径) φ3/φ5/φ7.5/φ10/φ15/φ20/φ30mm |
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| 特記事項 | 機械角±20度までの標準タイプ、機械角±40度までの広角タイプ、ハイインピーダンス仕様のL1モデルなど幅広い機種があります。 専用ドライバ・ミラーとの組み合わせが基本となりますが、カスタム対応によりお客様ご支給品での設計も可能です。 広角モデルをご使用の際はミラーサイズ・形状に制限がある可能性があります。 |
| カタログPDF |
