静電チャック専用高圧電源 [HECDシリーズ] 松定プレシジョン

半導体製造装置メーカー、研究開発機関・大学・試験装置メーカー

●半導体製造装置　●リソグラフィー　● イオンエッジング　● プラズマCVD　● ウエハボンディング　● ALD（原子層堆積法）　● CD-SEM　 ● マスクアライメント

● ウエハの静電容量をモニタリングするウエハセンシング機能により、確実なチャック/デチャックが可能
● 四象限アンプ構造を採用。高速応答かつ極性切替にメカニカルリレーを使用しない長寿命を実現
● 「2出力(2ch)独立制御(オプション)」や「センタータップ出力(オプション)」で様々なチャック/デチャック条件に対応可能
● デジタルインターフェース[LAN・USB・RS-232C]標準装備
● RFフィルター（ローパスフィルタ）内蔵（13.56MHz）
● 特注対応可能（4ch,6ch,デジタル制御、出力電圧など）