高砂工業株式会社は、ガス・熱雰囲気制御に優れた工業炉で、パワーエレクトロニクス分野の最新ニーズにも的確に応えます。
● RK（Rotary Kiln：ロータリーキルン）
均一・連続処理：回転攪拌により、SiC粉末やパワー半導体前駆体などの熱処理に求められる、短時間で高均質な加熱を実現。
特殊雰囲気制御：窒素・水素・アルゴン、可燃ガス、過熱水蒸気など多様な処理環境を、気密構造により安定維持 。
多レンジ設計：実験室用から量産ライン対応まで。電気／ガスの選択で、1000℃の熱処理にも柔軟対応。
用途例：SiCパウダー、粉末セラミックス、EVパワーデバイス前処理など。
● RHK（Roller-Hearth Kiln：ローラーハースキルン）
ライン連続焼成：予熱→焼成→冷却工程を連続的に実行し、搬送速度・炉内温度を精密制御。
高精度雰囲気保持：入口・出口に設けた置換室構造で、還元雰囲気や不活性雰囲気中での高品質連続処理を実現 。
ローラ素材多選択：ステンレス、SiC、セラミックを用途に応じて選択可能。
適用対象：パワー半導体ウエハー、パワーモジュール部品、電極材料の前段処理・後段処理などに最適。
創業70年を超える歴史を礎に、「熱処理の未来」を見据えた技術革新と、お客様と共に歩むものづくりに挑戦しています 。